在半导体、硬盘、平板显示器的制造赛道上，环境把控是不容有失的生命线 —— 一丝一毫的质量缺陷，都可能转化为难以估量的经济损失。而守住这条生命线的关键，就是对洁净车间、工艺核心区的环境粒子，进行毫厘不差的测量与计数。
TSI，拥有近 60 年高灵敏度粒子计数器研发经验，是行业内名副其实的 “老牌标杆”。其仪器凭借无可挑剔的准确性、重复性与可靠性，成为全球多国国家级标准实验室的信赖之选。
可精确测量0.100μm的粒子，粒径范围为0.100至10.0 μm，可同时检测多达八个通道的粒子数据，1.0 CFM (28.3 L/min)流速，能够满足半导体洁净室应用的苛刻要求。 应用领域 • 洁净窒微粒子监测,过程监控和过滤器测试 • I 级和 II 级无尘室检测 • 适用于单机运行或集成到设施监控系统 精确检测0.100 μm的粒子 0.100至10.0 μm粒径范围 可同时检测多达八个通道的粒子数据 1.0 CFM (28.3 L/min)流速 符合ISO 21501-4标准中所有要求 I级和II级无尘室检测最佳选择 完全符合ISO 21501-4要求 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性报告 通过TRAKPRO Lite Secure软件输出的外部认证报告 采用增强HeNe激光 高可重复和高可靠检测/数据 数据存储：250区，999个位置和10,000个样本 USB、以太网和脉冲输出 工业级高分贝报警 允许存储和回放特定测试/配置 显示多达三个环境参数 不锈钢外壳 无缝整合M32-01多点采样器 无尘室分类达到ISO I级
特点与优势
9110型可以通过打印机和配套的TrakProTM LiteSecure下载软件生成符合ISO 14644-1标准的通过或非符合的报告。它不仅可以作为单机粒子计数器使用，也可以集成于在线粒子监测系统。是市面上唯一一款提供此售后保证的便携式 0.100μm 粒子计数器。 对于半导体制造而言，洁净度就是生命线 —— 不仅关系到洁净室是否合规，更直接决定最终产品品质。唯有实现无污染生产，才能从源头减少缺陷、降低良率损失，让设备运行更稳定可靠。