国家标准《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制技术要求》GB/T 36306-2024由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口，中国电子工程设计院股份有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国科学院大气物理研究所、深圳市东升国际官网入口净化技术有限公司、天津大学等单位共同起草。2018年首次发布为GB/T 36306-2018，本次为第一次修订。

本文件代替GB/T 36306-2018《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南》，与GB/T 36306-2018相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下:

a)更改了标准适用范围(见第1章，2018年版的第1章)；

b)删除了空气分子污染、环境反应监测法、污染物、气相空气净化装置等术语(见2018年版的3.1、3.2、3.3、3.4)；

c)增加了按化学物浓度划分空气洁净度、释出气体等术语(见3.1、3.3)；

d)更改了空气化学污染物的定义(见3.2，2018年版的3.5)；

e)更改及增加了污染源来源(见4.1、4.2,2018年版的4.1)，删除了分级与分类(见2018年版的4.2)；

f)增加了一般要求、设计、施工及运行维护等空气化学污染控制内容(见 5.1、5.2、5.3、5.4)，删除了确定是否污染及情况、控制措施的内容(见2018年版的6.1、6.2)；

g)更改标题“检测”为“检测与监测”(见第6章，2018年版的第5章)，更改了检测的内容(见6.1,2018年版的5.1、5.2)，增加了监测的内容(见6.2)。

本文件的空气化学污染控制技术主要针对有空气化学污染控制要求的洁净室及相关受控环境。空气化学污染物的分子尺寸范围为0.1nm~3nm，通常状态下是以气体或蒸气形态存在，常规高效过滤器和超高效过滤器无法有效去除，使用粒子计数器也检测不到。

空气化学污染物种类较多，不同污染物具有不同的化学性质，某些污染物的浓度可随环境的温度、湿度变化而改变，且污染物来源具有很大的随机性。随着净化技术和材料的发展，空气化学污染物可以被有效控制和去除，能够保障洁净室及相关受控环境内空气化学污染物满足环境限定要求。

国际器件与系统路线图(IRDS)晶圆环境污染控制数据表

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