AeroTrak®便携式粒子计数器9110型

9110型高灵敏度粒子计数器，它能精确测量0.1μm的粒子，粒径范围为0.1至10 μm，可同时检测多达八个通道（0.10, 0.15, 0.20, 0.25, 0.30, 0.50, 1.0, 5.0 μm）的粒子数据，1.0 CFM (28.3 L/min）流速，在半导体超净环境控制中，能够实时、准确地检测空气中的尘埃粒子数，为产品良率保驾护航。

特点与优势

1. 精确检测0.1μm的粒子

2. 粒径范围0.1至10 μm

3. 可同时检测多达八个通道的粒子数据

4. 1.0 CFM (28.3 L/min）流速

5. 符合ISO 21501-4标准中所有要求

6. I级和II级无尘室检测最佳选择

7. 完全符合ISO 21501-4要求

8. 可生成ISO-14644-1，EU GMP Annex1和FS209E的符合性报告

9. 通过TRAKPRO Lite Secure软件输出的外部认证报告

10. 采用增强HeNe激光

11. 高可重复和高可靠检测/数据

12. 数据存储：250区，999个位置和10,000个样本

13. USB、以太网和脉冲输出

14. 工业级高分贝报警

15. 允许存储和回放特定测试/配置

16. 显示多达三个环境参数

17. 不锈钢外壳

18. 无缝整合M32-01多点采样器

19. 无尘室分类达到ISO I级

9110粒子计数器多功能的配置可以根据不同需要，既可以作为单机粒子计数器使用，也可以集成于在线粒子监测系统。适用于粒子污染监测、已安装过滤器检漏测试、无尘室认证等领域。

实现无污染的半导体制造对于减少缺陷和良率损失以及提高设备的可靠性是至关重要的！

随着半导体行业朝着越来越小的工艺尺寸和复杂性发展，对洁净室工艺制程关键区域的环境粒子精确测量至关重要，把先进的尘埃粒子检测技术集成到半导体制造工艺中，是半导体制造质量和卓越的基石，支持关键半导体技术的进步。