RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

特点优势

光学方式 侧方散乱方式

光源 半导体.固体激光器（输出800mW、波长532nm）

接触部材质 蓝宝石、PFA

粒径测量范围 0.03μm～0.13μm以上

粒径段 1点~10点任意设定